Технические характеристики
| Модель («Стандарт»/«Оптим») | Давление сжатого воздуха на входе изб., МПа | Количество воздуха на входе, нм3/час | Производительность по N2, нм3/час | Чистота, N2 % |
| АМУ-65,9/95 | 1,3 | 73,2 | 17,8 | 99,5 |
| Модель («Стандарт»/«Оптим») | Давление сжатого воздуха на входе изб., МПа | Количество воздуха на входе, нм3/час | Производительность по N2, нм3/час | Чистота, N2 % |
| АМУ-65,9/95 | 1,3 | 73,2 | 17,8 | 99,5 |